Method of manufacturing a variety of amorphous silicon solar cells, the most common is the glow discharge method, as well as reactive sputtering, chemical vapor deposition, electron beam evaporation and thermal decomposition of silane method. 비정질 실리콘 태양 전지의 각종 제조 방법은 가장 일반은 글로우 방전 방법뿐만 아니라 반응성 스퍼터링, 화학 기상 증착, 전자빔 증발과 실란 방법의 열적 분해이다.